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台阶仪

产品分类:
ET150
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台阶仪最大尺寸

φ160×厚48mm
台阶仪再现性
1σ 1nm以内
台阶仪測定范围
Z:600μm X:100mm
台阶仪分解能
Z:0.1nm X:0.1μm
台阶仪测定力

10μN~500μN

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。台阶仪根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。台阶仪其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。台阶仪传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。台阶仪经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

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来源:/supply/14.html

发布时间:2017-11-27 00:00:00

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